蝕刻片加工是一種精密的金屬薄片減材制造工藝。它利用化學(xué)腐蝕液有選擇性地溶解金屬，從而在金屬片上形成極其復(fù)雜、精細(xì)的圖案、孔洞或三維結(jié)構(gòu)。以下是關(guān)于蝕刻片加工的詳細(xì)介紹：

一、蝕刻片加工流程：

1.設(shè)計與工程：

使用CAD軟件設(shè)計蝕刻片加工的精確零件圖紙，包含所有細(xì)節(jié)、公差、蝕刻深度要求。

2.材料準(zhǔn)備：

-選擇合適的金屬材料卷材或板材，常見材料包括：

-材料表面需清潔無油污、氧化層。

3.涂布光刻膠：

-在清潔的金屬表面均勻涂覆一層對紫外線敏感的光刻膠（液態(tài)或干膜）。干膜應(yīng)用更廣泛，通過熱壓輥層壓到金屬表面。

4.曝光：

-將制作好的光掩模緊密貼合在涂有光刻膠的金屬板上。

-使用紫外光（UV）曝光機(jī)進(jìn)行曝光。

5.顯影：

-將曝光后的金屬板浸入顯影液中。

-顯影后，金屬表面形成了精確的光刻膠保護(hù)圖案。

6.蝕刻：

-將顯影后的金屬板浸入特定的化學(xué)蝕刻液（酸性或堿性，取決于金屬種類）中。

蝕刻液會溶解掉未被光刻膠保護(hù)的裸露金屬區(qū)域。

7.退膠/剝離：

-蝕刻完成后，使用化學(xué)溶劑或?qū)Ｓ猛四C(jī)去除金屬表面的光刻膠保護(hù)層。

8.清洗與干燥：

-徹底清洗金屬板，去除所有殘留的蝕刻液、光刻膠碎片和化學(xué)溶劑。

-采用去離子水漂洗和高潔凈度干燥（如熱風(fēng)干燥、離心干燥）防止水漬和二次污染。

9.后處理：

-表面處理：根據(jù)需求進(jìn)行，如：

-電鍍：鍍金、鍍銀、鍍鎳、鍍錫等。

-鈍化：（尤其不銹鋼）提高耐腐蝕性。

10.檢測與品控：

-尺寸測量：使用光學(xué)影像測量儀投影儀、激光掃描等檢測蝕刻片關(guān)鍵尺寸、孔位、線寬線距、公差是否符合圖紙要求。

-外觀檢查：目視或AOI檢查蝕刻缺陷（如過蝕、欠蝕、毛刺、殘膠、劃傷等）。

二、蝕刻片加工的核心優(yōu)勢：

1.高精度與復(fù)雜度：可加工極其精細(xì)復(fù)雜的圖案、銳利邊緣、任意形狀，無機(jī)械應(yīng)力變形。

2.無毛刺、無熱影響區(qū)：化學(xué)溶解過程不產(chǎn)生機(jī)械毛刺，不改變材料金相結(jié)構(gòu)和物理性能。

3.薄材加工能力強(qiáng)：蝕刻片加工是加工超薄金屬片（<0.1mm）最經(jīng)濟(jì)有效且不變形的方法。

4.批量生產(chǎn)效率高：可同時蝕刻多片甚至整板材料，成本隨批量增加顯著降低。

5.材料適應(yīng)性廣：可處理多種金屬及合金，尤其擅長硬質(zhì)、脆性或難加工材料。

6.設(shè)計更改靈活：修改設(shè)計只需更換光掩模，成本相對較低，速度快。

7.可實現(xiàn)半蝕刻：精確控制局部區(qū)域的蝕刻深度，形成臺階、凹槽、減薄區(qū)等，增加設(shè)計自由度。

三、蝕刻片加工典型工業(yè)應(yīng)用：

1.電子與半導(dǎo)體：引線框架、連接器端子、屏蔽罩、散熱片等。

2.過濾與分離：精密濾網(wǎng)、噴嘴板、分餾塔盤。

3.醫(yī)療器械：手術(shù)器械零件（刀片、鑷子）、植入物組件、診斷設(shè)備篩網(wǎng)/電極、微流控芯片部件。

4.航空航天：渦輪發(fā)動機(jī)葉片氣膜冷卻孔板、傳感器網(wǎng)格、輕量化結(jié)構(gòu)件、通風(fēng)格柵。

5.汽車工業(yè)：EGR冷卻器板片、燃油噴射器濾網(wǎng)/擋板、傳感器部件、銘牌/標(biāo)牌、裝飾格柵。

6.精密儀器：編碼器盤、光柵、彈簧墊片、微電機(jī)零件、光學(xué)器件支架。

7.消費(fèi)品：精密裝飾件（表盤、首飾）、名牌、揚(yáng)聲器網(wǎng)罩、剃須刀網(wǎng)罩、廚具濾籃。

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